Potrebujeme váš súhlas na využitie jednotlivých dát, aby sa vám okrem iného mohli ukazovať informácie týkajúce sa vašich záujmov. Súhlas udelíte kliknutím na tlačidlo „OK“.
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 9: Wafer to wafer bonding strength measurement for MEMS
Automaticky preložený názov:
Polovodičové súčiastky - Micro-elektromechanické zariadenia - Časť 9: Wafer do plátkov lepenie merania sily na MEMS
NORMA vydaná dňa 13.7.2011
Označenie normy: IEC 62047-9-ed.1.0
Dátum vydania normy: 13.7.2011
Kód tovaru: NS-414117
Počet strán: 49
Približná hmotnosť: 147 g (0.32 libier)
Krajina: Medzinárodná technická norma
Kategória: Technické normy IEC
IEC 62047-9:2011 describes bonding strength measurement method of wafer to wafer bonding, type of bonding process such as silicon to silicon fusion bonding, silicon to glass anodic bonding, etc., and applicable structure size during MEMS processing/assembly. The applicable wafer thickness is in the range of 10 ohmm to several millimeters. The contents of the corrigendum of March 2012 have been included in this copy. La CEI 62047-9:2011 decrit une methode de mesure de la resistance de collage de deux plaquettes, le type de processus de liaison, par exemple le collage par fusion de deux plaquettes de silicium, le collage anodique dune plaquette de silicium et dune plaquette de verre, etc., et la taille de la structure applicable pendant le traitement ou lassemblage de systemes microelectromecaniques (MEMS). Lepaisseur de plaquette applicable est dans la gamme comprise entre 10 ohmm et plusieurs millimetres. Le contenu du corrigendum de mars 2012 a ete pris en consideration dans cet exemplaire.
Corrigendum 1 - Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 9: Wafer to wafer bonding strength measurement for MEMS
(Corrigendum 1 - Dispositifs a semiconducteurs - Dispositifs microelectromecaniques - Partie 9: Mesure de la resistance de collage de deux plaquettes pour les MEMS)
Oprava vydaná dňa 8.3.2012
Vybraný formát:15.8.2006
26.6.2014
19.6.2014
19.6.2014
15.8.2006
21.8.2008
Posledná aktualizácia: 2024-09-12 (Počet položiek: 2 346 316)
© Copyright 2024 NORMSERVIS s.r.o.