Potrebujeme váš súhlas na využitie jednotlivých dát, aby sa vám okrem iného mohli ukazovať informácie týkajúce sa vašich záujmov. Súhlas udelíte kliknutím na tlačidlo „OK“.
Standard Test Method for Residual Strain Measurements of Thin, Reflecting Films Using an Optical Interferometer
Automaticky preložený názov:
Štandardná skúšobná metóda pre zvyškové napätosti meranie tenkých filmov, ktoré odrážajú pomocou optického interferometra
NORMA vydaná dňa 1.11.2011
Označenie normy: ASTM E2245-11
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 1.11.2011
Kód tovaru: NS-44782
Počet strán: 24
Približná hmotnosť: 72 g (0.16 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM
Keywords:
cantilevers, combined standard uncertainty, fixed-fixed beams, interferometry, length measurements, microelectromechanical systems, MEMS, polysilicon, residual strain, stiction, strain gradient, test structure, ICS Number Code 37.040.20 (Photographic paper, film and plates. Cartridges)
Significance and Use | ||||||||||
Residual strain measurements are an aid in the design and fabrication of MEMS devices. The value for residual strain is used in Young’modulus calculations. |
||||||||||
1. Scope | ||||||||||
1.1 This test method covers a procedure for measuring the compressive residual strain in thin films. It applies only to films, such as found in microelectromechanical systems (MEMS) materials, which can be imaged using an interferometer. Measurements from fixed-fixed beams that are touching the underlying layer are not accepted. 1.2 This test method uses a non-contact optical interferometer with the capability of obtaining topographical 3-D data sets. It is performed in the laboratory. 1.3 This standard does not purport to address all of the safety concerns, if any, associated with its use. It is the responsibility of the user of this standard to establish appropriate safety and health practices and determine the applicability of regulatory limitations prior to use. |
||||||||||
2. Referenced Documents | ||||||||||
|
Chcete mať istotu, že používate len platné technické normy?
Ponúkame Vám riešenie, ktoré Vám zaistí mesačný prehľad o aktuálnosti noriem, ktoré používate.
Chcete vedieť viac informácií ? Pozrite sa na túto stránku.
Posledná aktualizácia: 2024-12-22 (Počet položiek: 2 217 000)
© Copyright 2024 NORMSERVIS s.r.o.