ASTM E2245-11

Standard Test Method for Residual Strain Measurements of Thin, Reflecting Films Using an Optical Interferometer

NORMA vydaná dňa 1.11.2011

Anglicky -
PDF - okamžité stiahnutie (99.50 EUR)

Informácie o norme:

Označenie normy: ASTM E2245-11
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 1.11.2011
Počet strán: 24
Približná hmotnosť: 72 g (0.16 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM

Anotácia textu normy ASTM E2245-11 :

Keywords:
cantilevers, combined standard uncertainty, fixed-fixed beams, interferometry, length measurements, microelectromechanical systems, MEMS, polysilicon, residual strain, stiction, strain gradient, test structure, ICS Number Code 37.040.20 (Photographic paper, film and plates. Cartridges)