Potrebujeme váš súhlas na využitie jednotlivých dát, aby sa vám okrem iného mohli ukazovať informácie týkajúce sa vašich záujmov. Súhlas udelíte kliknutím na tlačidlo „OK“.
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 6: Axial fatigue testing methods of thin film materials
Automaticky preložený názov:
Polovodičové súčiastky - Micro-elektromechanické zariadenia - Časť 6: axiálne únava skúšobné metódy tenkých materiálov
NORMA vydaná dňa 7.4.2009
Označenie normy: IEC 62047-6-ed.1.0
Dátum vydania normy: 7.4.2009
Kód tovaru: NS-414113
Počet strán: 30
Približná hmotnosť: 90 g (0.20 libier)
Krajina: Medzinárodná technická norma
Kategória: Technické normy IEC
IEC 62047-6:2009 specifies the method for axial tensile-tensile force fatigue testing of thin film materials with a length and width under 1 mm and a thickness in the range between 0,1 µm and 10 µm under constant force range or constant displacement range. Thin films are used as main structural materials for MEMS and micromachines. The main structural materials for MEMS, micromachines, etc., have special features, such as typical dimensions of a few microns, material fabrication by deposition, andtest piece fabrication by means of non-mechanical machining, including photolithography. This International Standard specifies the axial force fatigue testing methods for micro-sized smooth specimens, which enables a guarantee of accuracy corresponding to the special features. The tests are carried out at room temperatures, in air, with loading applied to the test piece along the longitudinal axis. La CEI 62047-6:2009 specifie la methode relative a lessai de fatigue pour une force axiale de traction-traction des materiaux en couche mince de longueur et largeur inferieures a 1 mm et dune epaisseur comprise entre 0,1 µm et 10 µm dans le cadre dune gamme de force constante ou dune gamme de deplacement constant. Les couches minces sont utilisees comme materiaux de construction principaux pour les systemes micro-electromecaniques (MEMS, Micro-Electromechanical Systems) et les micromachines. Les materiaux de construction principaux pour les MEMS, les micromachines, etc. comportent des caracteristiques speciales telles que des dimensions typiques de lordre de quelques microns, une fabrication de materiau par depot, et une fabrication deprouvettes dessai au moyen dun usinage non mecanique, qui peut etre la photolithographie. La presente Norme internationale specifie les methodes dessais de fatigue pour force axiale pour des eprouvettes lisses microminiaturisees, qui garantissent une precision correspondant aux caracteristiques speciales. Les essais sont effectues a temperatures ambiantes, a lair, en appliquant la charge a leprouvette le long de laxe longitudinal.
Chcete mať istotu, že používate len platné technické normy?
Ponúkame Vám riešenie, ktoré Vám zaistí mesačný prehľad o aktuálnosti noriem, ktoré používate.
Chcete vedieť viac informácií ? Pozrite sa na túto stránku.
Posledná aktualizácia: 2024-09-11 (Počet položiek: 2 346 290)
© Copyright 2024 NORMSERVIS s.r.o.