Norma IEC 62047-16-ed.1.0 5.3.2015 náhľad

IEC 62047-16-ed.1.0

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 16: Test methods for determining residual stresses of MEMS films - Wafer curvature and cantilever beam deflection methods

Automaticky preložený názov:

Polovodičové súčiastky - Micro-elektromechanické zariadenia - Časť 16: Skúšobné metódy na stanovenie pnutia MEMS filmov - oblátkové zakrivenie a konzolové metódy odrazu lúča



NORMA vydaná dňa 5.3.2015


Jazyk
Prevedenie
DostupnosťSKLADOM
Cena51.60 bez DPH
51.60

Informácie o norme:

Označenie normy: IEC 62047-16-ed.1.0
Dátum vydania normy: 5.3.2015
Kód tovaru: NS-583224
Počet strán: 21
Približná hmotnosť: 63 g (0.14 libier)
Krajina: Medzinárodná technická norma
Kategória: Technické normy IEC

Kategórie - podobné normy:

Ostatní polovodičová zařízení

Anotácia textu normy IEC 62047-16-ed.1.0 :

IEC 62047-16:2015 specifies the test methods to measure the residual stresses of films with thickness in the range of 0,01 µ to 10 µ in MEMS structures fabricated by wafer curvature or cantilever beam deflection methods. LIEC 62047-16:2015 definit les methodes dessai permettant de mesurer les contraintes residuelles des films dont lepaisseur se situe dans la plage de 0,01 µ a 10 µ dans des structures fabriquees de microsystemes electromecaniques (MEMS) au moyen des methodes de la courbure de la plaquette ou de deviation de poutre en porte-a-faux.

Odporúčame:

Aktualizácia technických noriem

Chcete mať istotu, že používate len platné technické normy?
Ponúkame Vám riešenie, ktoré Vám zaistí mesačný prehľad o aktuálnosti noriem, ktoré používate.

Chcete vedieť viac informácií ? Pozrite sa na túto stránku.




Cookies Cookies

Potrebujeme váš súhlas na využitie jednotlivých dát, aby sa vám okrem iného mohli ukazovať informácie týkajúce sa vašich záujmov. Súhlas udelíte kliknutím na tlačidlo „OK“.

Súhlas môžete odmietnuť tu.

Tu máte možnosť prispôsobiť si nastavenia súborov cookies v súlade s vlastnými preferenciami.

Potrebujeme váš súhlas na využitie jednotlivých dát, aby sa vám okrem iného mohli ukazovať informácie týkajúce sa vašich záujmov.