Potrebujeme váš súhlas na využitie jednotlivých dát, aby sa vám okrem iného mohli ukazovať informácie týkajúce sa vašich záujmov. Súhlas udelíte kliknutím na tlačidlo „OK“.
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 16: Metody zkoušení pro stanovení zbytkového pnutí vrstev MEMS - Metody zakřivení desky a ohyb konzolového nosníku. (Norma přebírající anglický originál, vlastní text je součástí výtisku).
Automaticky preložený názov:
Polovodičové súčiastky - Mikroelektrome- súčiastky - Časť 16 : Metódy skúšania pre stanovenie zvyškového pnutia vrstiev MEMS - Metódy zakrivenie dosky a ohyb konzolového nosníka. ( Norma na priame anglický originál, vlastný text je súčasťou výtlačku ).
NORMA vydaná dňa 1.9.2015
Označenie normy: ČSN EN 62047-16
Rozlišovací znak: 358775
Katalógové číslo: 98269
Dátum vydania normy: 1.9.2015
Kód tovaru: NS-614166
Počet strán: 20
Približná hmotnosť: 60 g (0.13 libier)
Krajina: Česká technická norma
Kategória: Technické normy ČSN
Polovodičová zařízení obecně
Elektromechanické komponenty obecně
Tato norma popisuje metodu zkoušení pro stanovení zbytkového pnutí vrstev s tloušťkami v rozsahu 0,01 µm do 10 µm ve strukturách MEMS vytvořených metodou zakřivení desky nebo metodou ohybu konzolového nosníku. Vrstvy by měly být naneseny na substrát známých mechanických vlastností Youngova modulu a Poissonova poměru. Tyto metody slouží k určení zbytkového pnutí tenkých vrstev nanesených na substrátu
1.12.2003
1.12.2004
1.12.2004
1.6.2004
NEPLATNÁ
1.1.2015
NEPLATNÁ
1.3.2007
Chcete mať istotu, že používate len platné technické normy?
Ponúkame Vám riešenie, ktoré Vám zaistí mesačný prehľad o aktuálnosti noriem, ktoré používate.
Chcete vedieť viac informácií ? Pozrite sa na túto stránku.
Posledná aktualizácia: 2024-04-28 (Počet položiek: 2 896 137)
© Copyright 2024 NORMSERVIS s.r.o.