Pozor!

Vo Vašom prehliadači nie je aktuálne povolené spúšťanie Javascriptu. Je možné, že niektoré funkcie nebudú fungovať správne. Pre plnú funkčnosť internetového obchodu odporúčame povoliť Javascript. Tu sú inštrukcie ako povoliť JavaScript vo Vašom webovom prehliadači.

Zobrazovaná mena: €

Zobrazenie ceny: bez DPH

Náhľad normy

ČSN EN 62047-16 (358775)

Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 16: Metody zkoušení pro stanovení zbytkového pnutí vrstev MEMS - Metody zakřivení desky a ohyb konzolového nosníku. (Norma přebírající anglický originál, vlastní text je součástí výtisku).

Automaticky preložený názov:

Polovodičové súčiastky - Mikroelektrome- súčiastky - Časť 16 : Metódy skúšania pre stanovenie zvyškového pnutia vrstiev MEMS - Metódy zakrivenie dosky a ohyb konzolového nosníka. ( Norma na priame anglický originál, vlastný text je súčasťou výtlačku ).

NORMA vydaná dňa 1.9.2015

Jazyk
Prevedenie	Tlačené - 8.90 €
Dostupnosť	SKLADOM
Cena	8.90 € bez DPH
8.90 €

Informácie o norme:

Označenie normy: ČSN EN 62047-16
Rozlišovací znak: 358775
Katalógové číslo: 98269
Dátum vydania normy: 1.9.2015
Kód tovaru: NS-614166
Počet strán: 20
Približná hmotnosť: 60 g (0.13 libier)
Krajina: Česká technická norma
Kategória: Technické normy ČSN

Tlač

Odoslať známemu

Otázka

Kategórie - podobné normy:

Polovodičová zařízení obecně
Elektromechanické komponenty obecně

Anotácia textu normy ČSN EN 62047-16 (358775):

Tato norma popisuje metodu zkoušení pro stanovení zbytkového pnutí vrstev s tloušťkami v rozsahu 0,01 µm do 10 µm ve strukturách MEMS vytvořených metodou zakřivení desky nebo metodou ohybu konzolového nosníku. Vrstvy by měly být naneseny na substrát známých mechanických vlastností Youngova modulu a Poissonova poměru. Tyto metody slouží k určení zbytkového pnutí tenkých vrstev nanesených na substrátu