ČSN EN 62047-12 (358775)

Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 12: Metoda zkoušení ohybové únavy tenkovrstvých materiálů využívající rezonanční vibrace struktur MEMS. (Norma přebírající anglický originál, vlastní text je součástí výtisku).

Automaticky preložený názov:

Polovodičové súčiastky - Mikroelektrome- súčiastky - Časť 12: Metóda skúšania ohybovej únavy tenkovrstvových materiálov využívajúce rezonančné vibrácie štruktúr MEMS. (Norma na priame anglický originál, vlastný text je súčasťou výtlačku).



NORMA vydaná dňa 1.4.2012


Jazyk
Prevedenie
DostupnosťSKLADOM
Cena17.10 bez DPH
17.10

Informácie o norme:

Označenie normy: ČSN EN 62047-12
Rozlišovací znak: 358775
Katalógové číslo: 90486
Dátum vydania normy: 1.4.2012
Kód tovaru: NS-161579
Počet strán: 40
Približná hmotnosť: 120 g (0.26 libier)
Krajina: Česká technická norma
Kategória: Technické normy ČSN

Kategórie - podobné normy:

Ostatní polovodičová zařízení

Anotácia textu normy ČSN EN 62047-12 (358775):

Tato norma definuje metodu pro zkoušení ohybové únavy, která používá rezonanční vibrace struktur MEMS (mikroelektromechanických systémů) a mikrostrojů. Tato norma je určena pro vibrující struktury, které mají rozměry od 10 _m do 1 000 _m v rovinném směru a tloušťku 1 _m až 100 _m a zkušební materiály pod 1mm délky, 1mm šířky a 0,1 _m až 10 _m tloušťky.

Hlavní konstrukční materiály, které se používají pro MEMS, mikrostroje atd. mají speciální vlastnosti, mezi které patří typické rozměry v rozsahu několika mikrometrů, speciální metoda nanášení, opracování nemechanickými metodami včetně fotolitografie. MEMS systémy mají často vyšší rezonanční kmitočet a vyšší pevnost než makrostruktury. Pro zjištění a zkoumání zaručené životnosti musí být použito namáhání ultravysokou cyklickou únavou (nad 1012 cyklů). Předmětem zkušební metody je zkoumání únavy při mechanickém namáhání u materiálů mikrorozměrů za použití vibrací aplikovaných v krátké době, při vysokém kmitočtu a vysokém zatížení resonátoru při ohybu

Doporučujeme:




Cookies Cookies

Potrebujeme váš súhlas na využitie jednotlivých dát, aby sa vám okrem iného mohli ukazovať informácie týkajúce sa vašich záujmov. Súhlas udelíte kliknutím na tlačidlo „OK“.

Súhlas môžete odmietnuť tu.

Tu máte možnosť prispôsobiť si nastavenia súborov cookies v súlade s vlastnými preferenciami.

Potrebujeme váš súhlas na využitie jednotlivých dát, aby sa vám okrem iného mohli ukazovať informácie týkajúce sa vašich záujmov.