Cookies
Potrebujeme váš súhlas na využitie jednotlivých dát, aby sa vám okrem iného mohli ukazovať informácie týkajúce sa vašich záujmov. Súhlas udelíte kliknutím na tlačidlo „OK“.
ASTM F154-00
Standard Guide for Identification of Structures and Contaminants Seen on Specular Silicon Surfaces
Automaticky preložený názov:
Štandardné Príručka pre identifikáciu štruktúr a kontaminanty Pri pohľade na zrkadlových povrchoch kremíka
NORMA vydaná dňa 10.1.2001
Informácie o norme:
Označenie normy: ASTM F154-00
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 10.1.2001
Kód tovaru: NS-50668
Počet strán: 13
Približná hmotnosť: 39 g (0.09 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM
Anotácia textu normy ASTM F154-00 :
Keywords:
contaminant, defects, dislocation, epitaxial, fracture, preferential etch, scratch, shallow pit, silicon, slip, stacking fault, ICS Number Code 17.040.20 (Properties of surfaces)
Doplňujúce informácie
| 1. Scope |
|
This standard was transferred to SEMI (www.semi.org) May 2003 1.1 The purpose of this guide is to list, illustrate, and provide reference for various characteristic features and contaminants that are seen on highly specular silicon wafers. Recommended practices for delineation and observation of these artifacts are referenced. The artifacts described in this guide are intended to parallel and support the content of the SEMI M18. These artifacts and common synonyms are arranged alphabetically in Tables 1 and 2 and illustrated in Figs. 1-68 . |
Doporučujeme:
