Potrebujeme váš súhlas na využitie jednotlivých dát, aby sa vám okrem iného mohli ukazovať informácie týkajúce sa vašich záujmov. Súhlas udelíte kliknutím na tlačidlo „OK“.
Standard Practice for Approximate Determination of Current Density of Large-Diameter Ion Beams for Sputter Depth Profiling of Solid Surfaces (Withdrawn 2012)
Automaticky preložený názov:
Štandardná prax pre približné určenie prúdovej hustote veľkom priemere iónové lúče o prskať hĺbkové profilovanie povrchu pevných látok ( Withdrawn 2012 )
NORMA vydaná dňa 1.12.2004
Označenie normy: ASTM E684-04
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 1.12.2004
Kód tovaru: NS-47651
Počet strán: 2
Približná hmotnosť: 6 g (0.01 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM
Keywords:
ion beam sputtering, ICS Number Code 17.220.20 (Measurement of electrical and magnetic quantities)
Significance and Use | ||||||
Sputter depth profiling is used in conjunction with Auger electron spectroscopy, x-ray photoelectron spectroscopy, ion scattering spectroscopy, and secondary ion mass spectrometry to determine the chemical composition and atomic concentration as a function of distance from the surface of a specimen. See Guide E 1127. The diameter of the ion beam used for sputtering must be specified and this practice is a relatively quick method of measuring the shape (that is, current density distribution) of the ion beam if a suitable Faraday cup is not available.3 |
||||||
1. Scope | ||||||
1.1 This practice describes a simple and approximate method for determining the shape and current density of ion beams. The practice is limited to ion beams of diameter greater than 0.5 mm of the type used for sputtering of solid surfaces to obtain sputter depth profiles. It is assumed that the ion-beam current density is symmetrical about the beam axis. 1.2 This standard does not purport to address all of the safety concerns, if any, associated with its use. It is the responsibility of the user of this standard to establish appropriate safety and health practices and determine the applicability of regulatory limitations prior to use. |
||||||
2. Referenced Documents | ||||||
|
Chcete mať istotu, že používate len platné technické normy?
Ponúkame Vám riešenie, ktoré Vám zaistí mesačný prehľad o aktuálnosti noriem, ktoré používate.
Chcete vedieť viac informácií ? Pozrite sa na túto stránku.
Posledná aktualizácia: 2024-11-01 (Počet položiek: 2 208 817)
© Copyright 2024 NORMSERVIS s.r.o.