Cookies
Potrebujeme váš súhlas na využitie jednotlivých dát, aby sa vám okrem iného mohli ukazovať informácie týkajúce sa vašich záujmov. Súhlas udelíte kliknutím na tlačidlo „OK“.
ASTM E1438-91(2001)
Standard Guide for Measuring Widths of Interfaces in Sputter Depth Profiling Using SIMS
Automaticky preložený názov:
Štandardné Sprievodca pre meranie šírky Interfaces v prskať hĺbkové profilovanie pomocou SIMS
NORMA vydaná dňa 15.9.1991
Informácie o norme:
Označenie normy: ASTM E1438-91(2001)
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 15.9.1991
Kód tovaru: NS-41754
Počet strán: 2
Približná hmotnosť: 6 g (0.01 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM
Anotácia textu normy ASTM E1438-91(2001) :
Keywords:
data analysis-spectrochemical, depth resolution, interface width, profile distortion, secondary ion mass spectrometry (SIMS), ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)
Doplňujúce informácie
| 1. Scope | ||
|
1.1 This guide provides the SIMS analyst with a method for determining the width of interfaces from SIMS sputtering data obtained from analyses of layered specimens. This guide does not apply to data obtained from analyses of specimens with thin markers or specimens without interfaces such as ion-implanted specimens. 1.2 This guide does not describe methods for the optimization of interface width or the optimization of depth resolution. 1.3 This standard does not purport to address all of the safety problems, if any, associated with its use. It is the responsibility of the user of this standard to establish appropriate safety and health practices and determine the applicability of regulatory limitations prior to use. |
||
| 2. Referenced Documents | ||
|
Doporučujeme:
