ASTM D3004-08(2013)..
ASTM D6095-12
ASTM E1438-11
ASTM F1894-98(2011)..
ASTM F615M-95(2013)..
ASTM F76-08
Cookies
Potrebujeme váš súhlas na využitie jednotlivých dát, aby sa vám okrem iného mohli ukazovať informácie týkajúce sa vašich záujmov. Súhlas udelíte kliknutím na tlačidlo „OK“.
ASTM F2113-01(2011)
Standard Guide for Analysis and Reporting the Impurity Content and Grade of High Purity Metallic Sputtering Targets for Electronic Thin Film Applications (Withdrawn 2020)
Automaticky preložený názov:
Štandardné Guide pre analýzu a reporting obsah nečistôt a stupeň vysokej čistoty Kovové rozprašovacích pre elektronickú Thin Film aplikácií
NORMA vydaná dňa 1.6.2011
Informácie o norme:
Označenie normy: ASTM F2113-01(2011)
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 1.6.2011
Kód tovaru: NS-52871
Počet strán: 2
Približná hmotnosť: 6 g (0.01 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM
Kategórie - podobné normy:
Anotácia textu normy ASTM F2113-01(2011) :
Keywords:
electronics, purity analysis, purity grade, sputtering, target, thin film, Electronic thin-film applications, High-purity metallic sputtering targets, Impurities--electronic materials/applications, Semiconductor device testing, Sputtering process/targets, Target specifications, Thin film applications, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)
Doplňujúce informácie
| 1. Scope | ||
|
1.1 This guide covers sputtering targets used as thin film source material in fabricating semiconductor electronic devices. It should be used to develop target specifications for specific materials and should be referenced therein. 1.2 This standard sets purity grade levels, analytical methods and impurity content reporting method and format. 1.2.1 The grade designation is a measure of total metallic impurity content. The grade designation does not necessarily indicate suitability for a particular application because factors other than total metallic impurity may influence performance. |
||
| 2. Referenced Documents | ||
|
Podobné normy:
Historická
1.11.2013
Historická
1.11.2012
Historická
1.11.2011
Historická
1.6.2011
Historická
1.5.2013
Historická
15.6.2008
Odporúčame:
Aktualizácia zákonov
Chcete mať istotu o platnosti využívaných predpisov?
Ponúkame Vám riešenie, aby ste mohli používať stále platné (aktuálne) legislatívne predpisy
Chcete vedieť viac informácií ? Pozrite sa na túto stránku.
