
Surface chemical analysis-Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
NORMA vydaná dňa 20.1.2026
Označenie normy: JIS K0148:2026
Dátum vydania normy: 20.1.2026
Počet strán: 28
Približná hmotnosť: 84 g (0.19 libier)
Krajina: Ostatné normy
Kategória: Technické normy JIS