
Semiconductor devices -- Micro-electromechanical devices -- Part 30: Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of MEMS piezoelectric thin film
NORMA vydaná dňa 23.3.2020
Označenie normy: JIS C5630-30:2020
Dátum vydania normy: 23.3.2020
Počet strán: 16
Približná hmotnosť: 48 g (0.11 libier)
Krajina: Ostatné normy
Kategória: Technické normy JIS