
Semiconductor devices -- Micro-electromechanical devices -- Part 26: Description and measurement methods for micro trench and needle structures
NORMA vydaná dňa 20.10.2017
Označenie normy: JIS C5630-26:2017
Dátum vydania normy: 20.10.2017
Počet strán: 24
Približná hmotnosť: 72 g (0.16 libier)
Krajina: Ostatné normy
Kategória: Technické normy JIS