
Semiconductor devices -- Micro-electromechanical devices-- Part 2: Tensile testing method of thin film materials
NORMA vydaná dňa 20.3.2009
Označenie normy: JIS C5630-2:2009
Dátum vydania normy: 20.3.2009
Počet strán: 10
Približná hmotnosť: 30 g (0.07 libier)
Krajina: Ostatné normy
Kategória: Technické normy JIS