
Semiconductor devices -- Micro-electromechanical devices -- Part 12: Bending fatigue testing method of thin film materials using resonant vibration of MEMS structures
NORMA vydaná dňa 20.2.2014
Označenie normy: JIS C5630-12:2014
Dátum vydania normy: 20.2.2014
Počet strán: 24
Približná hmotnosť: 72 g (0.16 libier)
Krajina: Ostatné normy
Kategória: Technické normy JIS