
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 21: Test method for Poisson´s ratio of thin film MEMS materials (Endorsed by AENOR in November of 2014.)<
NORMA vydaná dňa 1.11.2014
Označenie normy: UNE-EN 62047-21:2014
Dátum vydania normy: 1.11.2014
Počet strán: 17
Približná hmotnosť: 51 g (0.11 libier)
Krajina: Španielska technická norma
Kategória: Technické normy UNE