Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 16: Test methods for determining residual stresses of MEMS films – Wafer curvature and cantilever beam deflection methods (Endorsed by AENOR in August of 2015.)
NORMA vydaná dňa 1.8.2015
Označenie normy: UNE-EN 62047-16:2015
Dátum vydania normy: 1.8.2015
Počet strán: 15
Približná hmotnosť: 45 g (0.10 libier)
Krajina: Španielska technická norma
Kategória: Technické normy UNE