Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 12: Bending fatigue testing method of thin film materials using resonant vibration of MEMS structures (Endorsed by AENOR in February of 2012.)
NORMA vydaná dňa 1.2.2012
Označenie normy: UNE-EN 62047-12:2011
Dátum vydania normy: 1.2.2012
Počet strán: 33
Približná hmotnosť: 99 g (0.22 libier)
Krajina: Španielska technická norma
Kategória: Technické normy UNE