Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 11: Test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems (Endorsed by AENOR in November of 2013.)
NORMA vydaná dňa 1.11.2013
Označenie normy: UNE-EN 62047-11:2013
Dátum vydania normy: 1.11.2013
Počet strán: 23
Približná hmotnosť: 69 g (0.15 libier)
Krajina: Španielska technická norma
Kategória: Technické normy UNE