
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 10: Micro-pillar compression test for MEMS materials (Endorsed by AENOR in December of 2011.)
NORMA vydaná dňa 1.12.2011
Označenie normy: UNE-EN 62047-10:2011
Dátum vydania normy: 1.12.2011
Počet strán: 15
Približná hmotnosť: 45 g (0.10 libier)
Krajina: Španielska technická norma
Kategória: Technické normy UNE