Polovodičové súčiastky. Elektromechanické mikrosúčiastky. Časť 12: Skúšobné metódy tenkovrstvových materiálov na namáhanie ohýbaním s využitím rezonančnej vibrácie štruktúr MEMS (Norma na priame používanie ako STN).
NORMA vydaná dňa 1.3.2012
Označenie normy: STN EN 62047-12
Rozlišovací znak: 358792
Katalógové číslo: 114772
Dátum vydania normy: 1.3.2012
Približná hmotnosť: 36 g (0.08 libier)
Krajina: Slovenská technická norma
Kategória: Technické normy STN