Polovodičové súčiastky. Elektromechanické mikrosúčiastky. Časť 21: Skúšobná metóda na stanovenie Poissonovho čísla tenkovrstvých materiálov MEMS (Norma na priame používanie ako STN).
NORMA vydaná dňa 1.2.2015
Označenie normy: STN EN 62047-21
Rozlišovací znak: 358792
Katalógové číslo: 120055
Dátum vydania normy: 1.2.2015
Približná hmotnosť: 30 g (0.07 libier)
Krajina: Slovenská technická norma
Kategória: Technické normy STN