Polovodičové súčiastky. Elektromechanické mikrosúčiastky. Časť 16: Skúšobné metódy na stanovenie zvyškového napätia vrstiev MEMS; zakrivenie vrstiev a metódy ohybu na konzolovom nosníkuen (Norma na priame používanie ako STN).
NORMA vydaná dňa 1.12.2015
Označenie normy: STN EN 62047-16
Rozlišovací znak: 358792
Katalógové číslo: 121888
Dátum vydania normy: 1.12.2015
Približná hmotnosť: 30 g (0.07 libier)
Krajina: Slovenská technická norma
Kategória: Technické normy STN