Polovodičové súčiastky. Elektromechanické mikrosúčiastky. Časť 13: Typy skúšobných metód ohybom a strihom na merania adhéznych síl pri štruktúrach MEMS (Norma na priame používanie ako STN).
NORMA vydaná dňa 1.8.2012
Označenie normy: STN EN 62047-13
Rozlišovací znak: 358792
Katalógové číslo: 115738
Dátum vydania normy: 1.8.2012
Približná hmotnosť: 30 g (0.07 libier)
Krajina: Slovenská technická norma
Kategória: Technické normy STN