Polovodičové súčiastky. Elektromechanické mikrosúčiastky. Časť 10: Tlaková skúška mikropodpier pre materiály MEMS (Norma na priame používanie ako STN).
NORMA vydaná dňa 1.12.2011
Označenie normy: STN EN 62047-10
Rozlišovací znak: 358792
Katalógové číslo: 114467
Dátum vydania normy: 1.12.2011
Približná hmotnosť: 21 g (0.05 libier)
Krajina: Slovenská technická norma
Kategória: Technické normy STN