Geometrische Produktspezifikation (GPS) - Oberflächenbeschaffenheit: Flächenhaft - Teil 603: Aufbau und Merkmale von berührungslos messenden Geräten (phasenschiebende Interferometrie) (ISO 25178-603:2025)
NORMA vydaná dňa 1.9.2025
Označenie normy: ÖNORM EN ISO 25178-603
Dátum vydania normy: 1.9.2025
Počet strán: 31
Približná hmotnosť: 93 g (0.21 libier)
Krajina: Rakúska technická norma
Kategória: Technické normy ÖNORM
Dieses Dokument beschreibt die Konstruktionsmerkmale und die messtechnischen Merkmale von Geräten für die phasenschiebende Interferometrie (PSI) zur flächenhaften Messung von Oberflächentopographien. Da Oberflächenprofile aus Daten der flächenhaften Oberflächentopografie extrahiert werden können, sind die in diesem Dokument beschriebenen Verfahren auch auf Profilierungsmessungen anwendbar.