Geometrische Produktspezifikation (GPS) - Oberflächenbeschaffenheit: Flächenhaft - Teil 603: Aufbau und Merkmale von berührungslos messenden Geräten (phasenschiebende Interferometrie) (ISO 25178-603:2025)
NORMA vydaná dňa 1.9.2025
Designation standards: ÖNORM EN ISO 25178-603
Publication date standards: 1.9.2025
The number of pages: 31
Approximate weight : 93 g (0.21 lbs)
Country: Austrian technische Norm
Kategória: Technické normy ÖNORM
Dieses Dokument beschreibt die Konstruktionsmerkmale und die messtechnischen Merkmale von Geräten für die phasenschiebende Interferometrie (PSI) zur flächenhaften Messung von Oberflächentopographien. Da Oberflächenprofile aus Daten der flächenhaften Oberflächentopografie extrahiert werden können, sind die in diesem Dokument beschriebenen Verfahren auch auf Profilierungsmessungen anwendbar.