Ellipsometrie - Grundlagen (ISO 23131:2021)
NORMA vydaná dňa 15.2.2023
Označenie normy: ÖNORM EN ISO 23131
Dátum vydania normy: 15.2.2023
Počet strán: 22
Približná hmotnosť: 66 g (0.15 libier)
Krajina: Rakúska technická norma
Kategória: Technické normy ÖNORM
Dieses Dokument legt ein Verfahren zur Bestimmung optischer und dielektrischer Konstanten im UV-VIS-NIR-Spektralbereich sowie von Schichtdicken im Bereich der at-line-Fertigungskontrolle, der Qualitätssicherung und der Materialentwicklung durch akkreditierte Prüflaboratorien fest. Es ist anwendbar für stand-alone-Messsysteme. Die Darstellung der Ergebnisunsicherheit entspricht dem ISO/IEC Guide 98-3.