Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 10: Bewertung der chemischen Oberflächenreinheit (ISO 14644-10:2022)
NORMA vydaná dňa 15.10.2022
Designation standards: ÖNORM EN ISO 14644-10
Publication date standards: 15.10.2022
The number of pages: 40
Approximate weight : 120 g (0.26 lbs)
Country: Austrian technische Norm
Kategória: Technické normy ÖNORM
Dieses Dokument legt geeignete Prüfverfahren zur Bestimmung der Oberflächenreinheit in Reinräumen hinsichtlich vorhandener chemischer Verbindungen oder Elemente (einschließlich Molekülen, Ionen, Atomen und Partikeln) fest. Dieses Dokument ist auf alle festen Oberflächen in Reinräumen und zugehörigen Reinraumbereichen anwendbar, wie z.B. Wände, Decken, Fußböden, Arbeitsflächen, Werkzeuge, Ausrüstungsgegenstände und Geräte.