Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 10: Bewertung der chemischen Oberflächenreinheit (ISO 14644-10:2022)
NORMA vydaná dňa 15.10.2022
Označenie normy: ÖNORM EN ISO 14644-10
Dátum vydania normy: 15.10.2022
Počet strán: 40
Približná hmotnosť: 120 g (0.26 libier)
Krajina: Rakúska technická norma
Kategória: Technické normy ÖNORM
Dieses Dokument legt geeignete Prüfverfahren zur Bestimmung der Oberflächenreinheit in Reinräumen hinsichtlich vorhandener chemischer Verbindungen oder Elemente (einschließlich Molekülen, Ionen, Atomen und Partikeln) fest. Dieses Dokument ist auf alle festen Oberflächen in Reinräumen und zugehörigen Reinraumbereichen anwendbar, wie z.B. Wände, Decken, Fußböden, Arbeitsflächen, Werkzeuge, Ausrüstungsgegenstände und Geräte.