ÖNORM EN 1071-4

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Diese Europäische Norm legt Verfahren zur Analyse der chemischen Zusammensetzung keramischer Schichten mittels Elektronenstrahl-Mikrobereichs-Analyse (ESMA) unter Verwendung eines Rasterelektronen-mikroskopes (REM) oder einer Elektronenstrahlmikrosonde fest. Die festgelegten Verfahren sind anwendbar auf die Untersuchung von Monolagenschichten, wenn die Analyse senkrecht zur Oberfläche der Probe durchgeführt wird, gelten jedoch auch für die Analyse von gradierten und Mehrlagenschichten im Querschliff, sobald die Dickenmaße der einzelnen Lagen oder deren Gradierungsdistanzen größer sind als die größte räumliche Ausdehnung des zur charakteristischen und/oder Fluoreszenzröntgenstrahlung angeregten Stoffvolumens. Dieses Verfahren kann auch zur Analyse von Rohstoffen angewendet werden.