Surface chemical analysis — Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
NORMA vydaná dňa 25.7.2014
Označenie normy: ISO 14706:2014-ed.2.0
Dátum vydania normy: 25.7.2014
Počet strán: 25
Približná hmotnosť: 75 g (0.17 libier)
Krajina: Medzinárodná technická norma
Kategória: Technické normy ISO