ISO/TS 22933:2022

Surface chemical analysis — Secondary ion mass spectrometry — Method for the measurement of mass resolution in SIMS

NORMA vydaná dňa 1.4.2022

Anglicky -
Elektronické PDF (127.80 EUR)

Informácie o norme:

Označenie normy: ISO/TS 22933:2022
Dátum vydania normy: 1.4.2022
Počet strán: 15
Približná hmotnosť: 45 g (0.10 libier)
Krajina: Medzinárodná technická norma
Kategória: Technické normy ISO

Anotácia textu normy ISO/TS 22933:2022 :

Description / Abstract: This document specifies a method for measuring the mass resolution in SIMS, and how to compare the mass resolution between different instruments (e.g. TOF-SIMS, Magnetic SIMS, Quadrupole SIMS, Fourier Transform SIMS, etc.) by considering the peak shapes.