
Surface chemical analysis — Determination of lateral resolution and sharpness in beam based methods with a range from nanometres to micrometres
NORMA vydaná dňa 14.1.2019
Označenie normy: ISO 18516:2019-ed.2.0
Dátum vydania normy: 14.1.2019
Počet strán: 53
Približná hmotnosť: 159 g (0.35 libier)
Krajina: Medzinárodná technická norma
Kategória: Technické normy ISO