
Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry — Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting
NORMA vydaná dňa 14.8.2020
Označenie normy: ISO 16413:2020-ed.2.0
Dátum vydania normy: 14.8.2020
Počet strán: 32
Približná hmotnosť: 96 g (0.21 libier)
Krajina: Medzinárodná technická norma
Kategória: Technické normy ISO