Microbeam analysis — Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy-dispersive X-ray spectrometers (EDS) for use with a scanning electron microscope (SEM) or an electron probe microanalyser (EPMA)
NORMA vydaná dňa 12.2.2021
Označenie normy: ISO 15632:2021-ed.3.0
Dátum vydania normy: 12.2.2021
Počet strán: 13
Približná hmotnosť: 39 g (0.09 libier)
Krajina: Medzinárodná technická norma
Kategória: Technické normy ISO