
Surface chemical analysis — Secondary-ion mass spectrometry — Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials
NORMA vydaná dňa 9.7.2010
Označenie normy: ISO 14237:2010-ed.2.0
Dátum vydania normy: 9.7.2010
Počet strán: 19
Približná hmotnosť: 57 g (0.13 libier)
Krajina: Medzinárodná technická norma
Kategória: Technické normy ISO