IEC/TR 63258-ed.1.0

Nanotechnologies - A guideline for ellipsometry application to evaluate the thickness of nanoscale films

NORMA vydaná dňa 19.3.2021

Anglicky -
Elektronické PDF (199.50 EUR)

Anglicky -

Tlačené (199.50 EUR)

Anglicky -

CD-ROM (201.10 EUR)

Informácie o norme:

Označenie normy: IEC/TR 63258-ed.1.0
Dátum vydania normy: 19.3.2021
Približná hmotnosť: 300 g (0.66 libier)
Krajina: Medzinárodná technická norma
Kategória: Technické normy IEC

Anotácia textu normy IEC/TR 63258-ed.1.0 :

IEC TR 63258:2021 is a Technical Report focused on the practical protocol of ellipsometry to evaluate the thickness of nanoscale films. This document does not include any specification of the ellipsometers, but suggests how to minimize the data variation to improve data reproducibility.