Semiconductor devices - Time dependent dielectric breakdown (TDDB) test for gate dielectric films
NORMA vydaná dňa 29.3.2007
Označenie normy: IEC 62374-ed.1.0
Dátum vydania normy: 29.3.2007
Počet strán: 43
Približná hmotnosť: 129 g (0.28 libier)
Krajina: Medzinárodná technická norma
Kategória: Technické normy IEC
Provides a test method of Time Dependent Dielectric Breakdown (TDDB) for gate dielectric films on semiconductor devices and a product lifetime estimation method of TDDB failure Cette norme decrit une methode d essai de la rupture dielectrique en fonction du temps (TDDB) pour films dielectriques de grille des dispositifs a semiconducteurs et une methode d estimation de la duree de vie de produit en presence d unedefaillance de type TDDB.