State system for ensuring the uniformity of measurements. Reflectometers of the extreme ultraviolet radiation for measurements of the characteristics of multilayer nanostructures in the wavelength range 10 to 30 nm. Procedure of measurements
NORMA vydaná dňa 1.1.2012
Označenie normy: GOST R 8.716-2010
Dátum vydania normy: 1.1.2012
Počet strán: 12
Približná hmotnosť: 36 g (0.08 libier)
Krajina: Ruská technická norma
Kategória: Technické normy GOST