
Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the combination of the deep etching and bonding process
NORMA vydaná dňa 29.8.2016
Označenie normy: GB/T 32816-2016
Dátum vydania normy: 29.8.2016
Krajina: Čínska technická norma
Kategória: Technické normy GB