GB/T 29844-2013

Specifications of metrology patterns for the evaluation of advanced photolithgraphy

NORMA vydaná dňa 12.11.2013

Anglicky a čínsky -
Elektronické PDF (278.40 EUR)

Informácie o norme:

Označenie normy: GB/T 29844-2013
Dátum vydania normy: 12.11.2013
Krajina: Čínska technická norma
Kategória: Technické normy GB