Test method for measuring surface metal contamination on silicon wafers by total reflection X-ray fluorescence spectroscopy
NORMA vydaná dňa 30.10.2009
Označenie normy: GB/T 24578-2009
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 30.10.2009
Krajina: Čínska technická norma
Kategória: Technické normy GB