GB/T 17866-1999

Guideline for programmed defect masks and benchmark procedures for sensitivity analysisof mask defect inspection systems

NORMA vydaná dňa 13.9.1999

Anglicky a čínsky -
Elektronické PDF (358.00 EUR)

Informácie o norme:

Označenie normy: GB/T 17866-1999
Dátum vydania normy: 13.9.1999
Krajina: Čínska technická norma
Kategória: Technické normy GB