
Test method for the surface quality of polished silicon wafers and epitaxial wafers by optical-reflection
NORMA vydaná dňa 22.12.1997
Označenie normy: GB/T 17169-1997
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 22.12.1997
Krajina: Čínska technická norma
Kategória: Technické normy GB