GB/T 16878-1997

Specification for metrology pattern cells for integrated circuit manufacture

NORMA vydaná dňa 20.6.1997

Anglicky a čínsky -
Elektronické PDF (419.50 EUR)

Informácie o norme:

Označenie normy: GB/T 16878-1997
Dátum vydania normy: 20.6.1997
Krajina: Čínska technická norma
Kategória: Technické normy GB