
Test method for sheet resistance of silicon epitaxial, diffused and ion-implanted layers using a collinear four-probe array
NORMA vydaná dňa 6.2.1993
Označenie normy: GB/T 14141-1993
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 6.2.1993
Krajina: Čínska technická norma
Kategória: Technické normy GB