Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 8: Strip bending test method for tensile property measurement of thin films.
NORMA vydaná dňa 1.5.2008
Označenie normy: E DIN IEC 62047-8:2008-05
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 1.5.2008
Počet strán: 28
Približná hmotnosť: 84 g (0.19 libier)
Krajina: Nemecká technická norma
Kategória: Technické normy DIN
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 8: Streifen-Biege-Prüfverfahren zur Messung von Zugbeanspruchungsmerkmalen dünner Schichten.