Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 4: Generic specification for MEMS.
NORMA vydaná dňa 1.9.2006
Označenie normy: E DIN IEC 62047-4:2006-09
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 1.9.2006
Počet strán: 53
Približná hmotnosť: 159 g (0.35 libier)
Krajina: Nemecká technická norma
Kategória: Technické normy DIN
Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 4: Fachgrundspezifikation für Bauteile der Mikrosystemtechnik.