Microelectromechanical devices - Part 3: Thin film standard test piece.
NORMA vydaná dňa 1.8.2004
Označenie normy: E DIN IEC 62047-3:2004-08
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 1.8.2004
Počet strán: 10
Približná hmotnosť: 30 g (0.07 libier)
Krajina: Nemecká technická norma
Kategória: Technické normy DIN
Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 3: Dünnschicht-Standardmikroprobe.