Microelectromechanical devices - Part 2: Tensile testing method of thin film materials.
NORMA vydaná dňa 1.8.2004
Označenie normy: E DIN IEC 62047-2:2004-08
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 1.8.2004
Počet strán: 22
Približná hmotnosť: 66 g (0.15 libier)
Krajina: Nemecká technická norma
Kategória: Technické normy DIN
Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 2: Prüfverfahren zur Zugbeanspruchung bei Dünnschicht-Werkstoffen.